主要特点
快速加热:快速退火管式炉能够迅速达到设定温度,这对于某些需要短时间内完成热处理过程的应用非常关键。
温度控制精度高:高度精确的温度控制能力,可以实现温度的PID精确调节.
气氛控制:可以在惰性气体(如氮气、氩气)或还原性气体(如氢气)环境中进行退火处理,以防止样品氧化或者促进特定的化学反应。
操作灵活:用户可以根据不同的实验需求调整加热速率、保温时间和冷却方式等参数。
应用领域
半导体制造:用于半导体芯片制造中的薄膜沉积后处理。
纳米材料合成:合成各种纳米结构材料时的退火处理。
金属合金处理:改善金属材料的微观结构和性能。
陶瓷材料加工:制备高性能陶瓷材料
技术参数
| 型号 | MFLGHW405-12 | MFLGHW408-12 | MFLGHW410-12 | MFLGHW415-12 |
性能 | 石英管尺寸 | Φ50*1000mm | Φ80*1000mm | Φ100*1000mm | Φ150*1000mm |
控温范围 | 室温-1200℃ |
工作温度 | ≤1100℃ |
加热区长度 | 400mm |
控温精度 | <1000 ±0.1℃ ; ≥1000±1℃ |
升温速率 | 最快升温速度≤80℃/min,推荐1000度以下≤40℃/min |
炉表温度 | 炉体表面温度≤60℃(测量点为1000℃) |
构成 | 外装 | 冷轧钢板,表面耐药性涂装 |
炉膛 | 氧化铝多晶纤维 |
传感器 | K型热电偶 |
加热元件 | 红外灯管 |
炉管 | 石英管 |
炉体结构 | 1.双层壳体结构设计 2.可开启式炉膛方便 3.配有风冷系统 |
控制器 | 控制方式 | PID控制,50段程序控温 |
设定表示 | 数字设定/数字显示 |
超温保护 | 具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断 |
附加功能 | 偏差修正、停电补偿、锁键功能 漏电保护 |
定时器 | 1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止 |
真空系统 | 真空泵(选配) | 机械泵 |
流量计 | 浮子流量计(1-300ml/min) |
法兰 | 不锈钢真空法兰 |
压力表 | 指针式压力表(-0.1Mpa-0.15Mpa) |
规格 | 炉体结构 | 卧式 |
外形尺寸(D*W*Hmm) | 350*650*605 | 410*850*670mm |
输入功率(KW) | 24 | 24 | 28 | 32 |
电压 | 380V/50HZ |
安全 | 工作温度 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 开门断电、超温报警、漏电保护、过温保护 |
出厂清单 | 管式炉一台,高温手套一双,炉钩一把,管堵一对,说明书一份 |