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1200℃真空箱式气氛炉

MFLZQ-12系列是一款最高温度1200度真空气氛炉,专门设计用于对物料在抽真空状态并通一定气氛(如惰性气体等)环境下进行烧结,主要用途:高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品工矿企业理想的实验和生产设备。

一、产品描述

此款真空高温气氛炉通过预抽真空,然后通入氮气、氩气或者氮氢混合气体,从而在气氛保护下获得理想的热处理效果。因其优秀的气氛环境以及紧凑实用性,目前已广泛的应用于材料实验室或者半导体、氮化硅等产品的小批量生产

二、产品特点

  • 1.一体式设计优化炉体结构,节约空间
  • 2.炉膛材料选用多晶莫来纤维材料,高温不变形、保温性能佳
  • 3.双层壳体结构,配有风冷系统,外壳温度在室温+20℃
  • 4.智能PID控制仪表,30段可编程程序,可曲线升温并设定温度速率,恒温时间控制,自动停机等
  • 5.控温精度高,自测1000度以内的精度±0.1℃;1000度以上±1℃
  • 6.具有开门断电 超温报警 漏电保护 过温保护
  • 7.可选配大屏幕无纸记录仪,实现对升温曲线的实时记录,并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印

技术参数:

型号 MFLZQ215-12 MFLZQ322-12 MFLZQ325-12 MFLZQ433-12 MFLZQ544-12 MFLZQ655-12
性能 炉膛尺寸(D*W*Hmm) 200*150*150 300*200*200 300*250*250 400*300*300 500*400*400 600*500*500
控温范围 室温~1200℃
工作温度 ≤1100℃
控温精度 <1000 ±0.1℃ ; ≥1000±1℃
恒温波动 ±1℃
温度均匀度 ±5℃
升温速率 建议升温速率≤10℃/min
真空度(冷态) -0.1Mpa
炉表温度 炉体表面温度小于室温+20(测量点为1000℃)
构成 外装 冷轧钢板,表面喷塑处理
炉膛 氧化铝多晶纤维
传感器 K型热电偶
加热元件 HRE电阻丝
炉体结构 双层壳体结构,配有风冷系统
控制器 控制方式 PID控制,50段程序控温
设定表示 7寸液晶触摸屏仪表显示和设定
超温保护 具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断
超压保护 配有自动泄压阀,炉内压力超过设定安全压力时开启自动泄压
附加功能 偏差修正、停电补偿、锁键功能 漏电保护
真空系统 真空泵(选配) 旋片式机械泵,抽速:每秒2升,泵的极限真空度:5*10-1pa
流量计 浮子流量计(1-300ml/min)
压力表 日本SMC 数显真空计
气氛控制 配有6mm快接头进出气口,可通入惰性气体
规格 炉体结构 箱式
外形尺寸(D*W*Hmm) 800*1000*860 1000*1200*1500 1000*1200*1500 1200*1200*1500 1300*1200*1600 1300*1400*1600
最大功率(KW) 2.5 5 5 12 16 45
电压 220V/50HZ 380V/50HZ
安全 工作温度 RT±5-40℃
使用保障 开门断电、超温报警、漏电保护、过温保护
出厂清单 气氛炉1台,高温手套1双,坩埚钳1把,垫砖1块,说明书1份,仪表说明书1份,保修卡1份