采用机械泵做为前级泵，再搭配分子泵。真空度可达10-4次pa
主要特点
600*750mm的承重台面，可配合管式炉使用，节约空间。·极限真空度可达到10-4Pa，满足大多数高真空实验要求。·连接管路采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1*10-9Pa.m3/s。·滚轮上装有制动装置，提高安全性。
技术参数：
| 设备型号 | MFLGZK-16-600 | |
| 机组输入电压 | 220V | |
| 总功率 | 1KW | |
| 波纹管 | KF25X1000 | |
| 真空挡板阀 | KF25 | |
| 机箱尺寸 | 600X600X600 | |
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分子泵
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分子泵型号 | F-160/620C |
| 输入电压 | 220V | |
| 分子泵进气口法兰 | DN160LF | |
| 分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600L/s | |
| 分子泵极限压强（Pa) | 5×10-7 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 环境温度 | 0~40℃ | |
| 建议启动压强 | <100pa | |
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前级机械泵DVP-24
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机械泵型号 | DVP-24 |
| 功率 | 0.75KW | |
| 电压 | 220V | |
| 转速 | 1440rpm | |
| 进气口径 | KF25 | |
| 前机泵抽气速率（L/S） | 6 | |
| 极限压强 | 4X10 -2Pa | |
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冷水机 |
型号 | CW3000 |
| 水箱容量 | 8L | |
| 最大流量 |
10L/MIN |
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| 最大扬程 | 8M |
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| 复合真空计 | 复合真空计型号 | ZDF |
| 电源 | 220V 55W | |
| 控制精度 | ± 1% | |
| 真空计测量范围 | 1.0×10 – 1.0×10-5pa | |
