此款快速退火管式炉是一种专门用于材料科学和半导体制造领域的加热设备,主要用于对样品进行快速加热和冷却处理。每分钟升温速度可达50℃,配备有高精度的温度控制系统和气体管理系统,以确保在特定气氛下精确控制加热过程。
主要特点
快速加热:快速退火管式炉能够迅速达到设定温度,这对于某些需要短时间内完成热处理过程的应用非常关键。
温度控制精度高:高度精确的温度控制能力,可以实现温度的PID精确调节.
气氛控制:可以在惰性气体(如氮气、氩气)或还原性气体(如氢气)环境中进行退火处理,以防止样品氧化或者促进特定的化学反应。
操作灵活:用户可以根据不同的实验需求调整加热速率、保温时间和冷却方式等参数。
应用领域
半导体制造:用于半导体芯片制造中的薄膜沉积后处理。
纳米材料合成:合成各种纳米结构材料时的退火处理。
金属合金处理:改善金属材料的微观结构和性能。
陶瓷材料加工:制备高性能陶瓷材料
技术参数
| 型号 | MFLGHW405-12 | MFLGHW408-12 | MFLGHW410-12 | MFLGHW415-12 | |
| 性能 | 石英管尺寸 | Φ50*1000mm | Φ80*1000mm | Φ100*1000mm | Φ150*1000mm |
| 控温范围 | 室温-1200℃ | ||||
| 工作温度 | ≤1100℃ | ||||
| 加热区长度 | 400mm | ||||
| 控温精度 | <1000 ±0.1℃ ; ≥1000±1℃ | ||||
| 升温速率 | 最快升温速度≤80℃/min,推荐1000度以下≤40℃/min | ||||
| 炉表温度 | 炉体表面温度≤60℃(测量点为1000℃) | ||||
| 构成 | 外装 | 冷轧钢板,表面耐药性涂装 | |||
| 炉膛 | 氧化铝多晶纤维 | ||||
| 传感器 | K型热电偶 | ||||
| 加热元件 | 红外灯管 | ||||
| 炉管 | 石英管 | ||||
| 炉体结构 | 1.双层壳体结构设计 2.可开启式炉膛方便 3.配有风冷系统 | ||||
| 控制器 | 控制方式 | PID控制,50段程序控温 | |||
| 设定表示 | 数字设定/数字显示 | ||||
| 超温保护 | 具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断 | ||||
| 附加功能 | 偏差修正、停电补偿、锁键功能 漏电保护 | ||||
| 定时器 | 1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止 | ||||
| 真空系统 | 真空泵(选配) | 机械泵 | |||
| 流量计 | 浮子流量计(1-300ml/min) | ||||
| 法兰 | 不锈钢真空法兰 | ||||
| 压力表 | 指针式压力表(-0.1Mpa-0.15Mpa) | ||||
| 规格 | 炉体结构 | 卧式 | |||
| 外形尺寸(D*W*Hmm) | 350*650*605 | 410*850*670mm | |||
| 输入功率(KW) | 24 | 24 | 28 | 32 | |
| 电压 | 380V/50HZ | ||||
| 安全 | 工作温度 | RT±5-40℃ | |||
| 使用保障 | 开门断电、超温报警、漏电保护、过温保护 | ||||
| 出厂清单 | 管式炉一台,高温手套一双,炉钩一把,管堵一对,说明书一份 | ||||