CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
【产品型号】MFLCVD406-12
【石英管径】50/60/80/100/120/150mm
【额定温度】1200℃/1400℃/1700℃
【电源电压】AC220V/50Hz
【控温精度】±1℃
一、产品描述
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
二、产品特点
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1.一体式设计优化炉体结构，节约空间
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2.炉膛材料选用多晶莫来纤维材料，高温不变形、保温性能佳
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3.双层壳体结构，配有风冷系统，外壳温度在室温+10℃
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4.智能PID控制仪表，30段可编程程序，可曲线升温并设定温度速率，恒温时间控制，自动停机等
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5.控温精度高，自测1000度以内的精度±0.1℃；1000度以上±1℃
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6.具有开门断电 超温报警 漏电保护 过温保护
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7.可选配大屏幕无纸记录仪，实现对升温曲线的实时记录，并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印
技术参数：
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设备型号 |
MFLCVD406-12 |
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性能 |
控温范围 |
室温-1200℃ |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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| 加热区长度 | 400mm | |
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控温精度 |
＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ |
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恒温波动 |
±1℃（测试点为1000℃） |
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升温速度 |
推荐1000度以下≤10℃/min，最快升温速度≤30℃/min |
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降温速度 |
700℃以上≤10℃/min |
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炉表温度 |
炉体表面温度小于室温+10（测量点为1000℃） |
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构成 |
外装 |
冷轧钢板，表面耐药性涂装 |
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炉体 |
陶瓷纤维 |
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传感器 |
1200度K型热电偶 |
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加热元件 |
HDR优质电阻合金丝 |
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冷却风叶 |
轴流风扇 |
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炉体结构 |
双层壳体结构，配有风冷系统 |
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控制器 |
控制方式 |
PID控制 |
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设定表示 |
数字设定/数字显示 |
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超温保护 |
控制器一体型 |
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超温设定 |
数字设定 |
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运行功能 |
定制运行/程序运行（30段程序控温） |
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附加功能 |
偏差修正、停电补偿、锁键功能 |
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定时器 |
1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止 |
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真空系统 |
真空度 |
1.选配机械泵可达真空 10的-2次pa
2.选配我司高真空系统（机械泵+分子泵组合），可达1.33*10的-4次方pa（空炉状态）
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隔热管堵 |
2只，氧化铝材料 |
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炉管 |
石英管（直径60mm*长1000mm) |
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真空法栏 |
不锈钢真空法兰 |
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压力表 |
-0.1至0.15mpa |
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供气系统 |
质子流质计 |
量程和气体：5-500SCCM、1-10SLM （可以任意选择以上量程和所通气体的类型） 流量控制精度 ±1.0%F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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安全 |
工作环境 |
RT±5-40℃ |
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使用保障 |
开门断电 超温报警 漏电保护 过温保护 |
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规格 |
炉体结构 |
卧式 |
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炉管尺寸 |
Φ60mm |
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电源电压 |
220V50HZ |
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输入功率 |
4KW |
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出厂清单 |
管式炉 |
一台 |
| 真空系统 | 一套 | |
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供气系统 |
一套 |
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高温手套 |
卡斯顿一双 |
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炉勾 |
一把 |
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气管 |
一根 |
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设备说明书 |
一份 |
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仪表说明书 |
一份 |
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保修卡 |
一份 |
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选购品 |
移动炉架 |
不锈钢 |
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触摸屏智能仪表 |
50段编程，可实现与计算机连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。 |
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注：管径可选：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,
温区可以做双温区，三温区等多温区，
请联系客服
标配清单：
| 出厂清单 | 管式炉 | 一台 |
| 真空系统 | 一套 | |
| 供气系统 |
一套 | |
| 高温手套 | 卡斯顿一双 | |
| 炉勾 | 一把 | |
| 气管 | 一根 | |
| 设备说明书 | 一份 | |
| 仪表说明书 | 一份 | |
| 保修卡 | 一份 |
可选配：
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移动炉架 |
整体不锈钢 |
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7英寸触摸屏仪表 |
50段编程， 大屏幕无纸记录仪，实现对升温曲线的实时记录，并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印
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一、售后服务
品质保证：一年保修，终身技术支持。（特别提示，耗材部分如加热元件、样品坩埚等不在保修范围内因使用腐蚀性气体造成的损害不在保修范围内）
二、注意事项
1.炉管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
4.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）